低溫等離子體是工作氣體在外加電場作用下電離，產生含有大量電子、離子、原子、分子和活性自由基以及射線的等離子體，其中活性自由基和紫外線及帶電粒子對細菌產生強烈的相互作用，構成了對細菌或病毒全方位的滅殺環境。
等離子體射流源單電極等離子體裝置:這類裝置只有一個電極，能夠直接或間接在周圍大氣中產生等離子體，這個裝置稱之為單電極懸浮DBD裝置，它使用皮膚或其他活體組織作為另一個電極，當人體組織接近高壓電極時，組織與電極間的間隙被擊穿產生等離子體。
雙電極等離子體裝置:這類裝置有2個電極，電極結構設計使射流外部也具有較高的電場，這對于產生長射流是非常有利的。該裝置產生的等離子體可以任意觸摸，所以它非常適合于等離子體在醫學方面的應用。
低溫等離子在醫學中的應用及原理：
等離子體對病原微生物的滅活及相關研究等離子體對于革蘭陰性菌、革蘭陽性菌、細菌孢子、細菌生物膜及真菌等都具有滅活能力。等離子體中的活性成分(紫外線，帶電粒子及活性氧等)作用于生物體的DNA和蛋白質，可以導致DNA遺傳特性發生改變和蛋白質(骨架蛋白、酶等)變性，從而滅活生物體。但尚未發現針對等離子體滅活病毒機制方面的研究。
此外，低溫等離子體還被廣泛的用于醫療器械的消毒(如腹腔鏡)和室內空氣消毒。等離子滅菌器通過射頻電源給過氧化氫滅菌劑一定的能量，讓滅菌劑以等離子狀態在滅菌器的真空腔內轉變成活性基團，它們可以與微生物體內的蛋白質和核糖核酸發生氧化反應，使微生物死亡。
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